- 品名： 安徽貝意克前端預(yù)熱法硫化鉬制備設(shè)備
- 型號： BTF-1200C-400C
- 產(chǎn)品詳情
- 規(guī)格參數(shù)
主要特點
前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器，輔助硫粉蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡便。并配有氣氛微調(diào)裝置，可以準確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對于做低壓CVD非常實用，重復(fù)性好。
技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器
| 型號：BTF-400C 工作溫度：350℃ **溫度：400℃ *快升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 |
硫化爐 | 技術(shù)參數(shù) 額定功率(KW)：3 額定電壓(V)：AC220v 50/60 Hz **溫度(℃)：1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1200mm 加熱區(qū)長度（mm）：440mm 恒溫區(qū)長度（mm）：200mm 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度(℃)：±1 加熱元件：電阻絲 |
供氣系統(tǒng)GMF-3Z
| （質(zhì)子流量計） 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 標準量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa **壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 |
低真空機組VAU-02
| 空氣相對濕度≤85%， 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L\s 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 進氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉(zhuǎn)速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸：600×600×600mm |
